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玻璃晶圓厚度激光測量,實時出結果更方便|激光厚度測量儀

文章出處:網責任編輯:作者:人氣:-發表時間:2022-08-23 22:20:00

玻璃晶圓因為其擁有優越的透光性、極低的熒光強度,極低的膨脹系數、抗熱沖擊性強,極佳的化學穩定性,極佳的抗刮花效果,極低的含堿量,使得其應用于各類高新行業。玻璃晶圓由于其材質特性擁有極高的硬度,也代表玻璃晶圓的脆性非常大,使得測量玻璃晶圓的外形尺寸十分困難,因為稍有不慎就會導致其表面留下劃痕等瑕疵,無法進行后續的工序。玻璃晶圓有一項十分重要的外形尺寸,該項尺寸的測量精度同樣影響后續加工,這就是厚度均勻性,一般的厚度測量工具都需要對玻璃晶圓的表面施加應力來獲得數據,該類傳統的接觸式測量工具不單單會容易對晶圓表面留下瑕疵,測量的精度還無法滿足晶圓產業的檢測需求,所以上下激光厚度測量儀才是測量玻璃晶圓厚度數據的理想選擇。

雙激光厚度測量儀無需接觸到玻璃晶圓表面更不會對其表面施加壓力來測量,僅需要將晶圓放置在測量臺就能實時的獲得高精度厚度數據,還不會劃傷晶圓表面,是一個省時省力的高精度測量設備。激光測厚儀操作簡單無需培訓既能輕松操作,無論是抽檢還是全檢都能高效率的完成,設備體積小、質量輕、方便攜帶,可連接電腦測量數據可輸出到表格方便后續查閱,是晶圓生產企業不可多得的得力測量助手。

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此文關鍵字:厚度測量儀   單機快速檢測   在線機器人視覺檢測

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