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硅片平整度激光測量,高精度為國產半導體行業護航|激光平面度測量儀

文章出處:網責任編輯:作者:人氣:-發表時間:2022-09-20 23:48:00

硅片作為半導體器件的“基石”其重要性不言而喻,在經過切片、倒角、磨片、腐蝕、拋光、退火之后硅片的表面會出現平整度標準與公差不符的情況,想要知曉當前硅片的平整度數據就需要用到激光平面度平整度測量儀進行測量。為什么不用刀口尺或者塞尺等通用型工具進行硅片的平整度測量?因為硅片對于其表面形貌完整性要求非常高,如果表面還殘留污染雜質,即使是微量污染都會導致硅片所制作的器件直接失效。使用上述的通用型工具不單單精度要求不達標,還有可能會造成硅片的表面形貌被破壞形成劃痕、刮損等情況,即使倍加小心同樣也會應為觸碰到硅片的表面導致有機物或者無機物的殘留。為了降低硅片生產的不良率以及提高硅片的質量,非接觸式的激光平整度測量儀成為了測量硅片平整度理想設備。

海科思多激光平整度測量儀通過高精度激光對硅片表面進行線掃描或者點掃描,然后再一次性數據采集后通過的平整度軟件計算,可以在屏幕上直接看到硅片的平整度、平面度、翹曲度等誤差測量判定數據,并給出OK/NG的結果,省去了大量的人工成本以及計算時間。該設備搭配硅片的托盤就能進行多片硅片同時測量,節約時間之余還不同擔心人手或者機器觸碰到硅片表面造成瑕疵,保留了硅片表面的完整性。海科思激光平整度平面度測量儀可根據被測硅片的大小進行機型的定制,解決廠商生產多種尺寸硅片卻不知道什么測量設備合適的問題。

三激光平面度測量儀(

海科思擁有適用于硅片測量的多種設備,如雙激光測厚儀、全自動影像測量儀等等,如有測量方面的需求歡迎致電海科思全國服務熱線:400-0528-668

此文關鍵字:激光平面度測量儀   翹曲度平面度測量儀   平面度測量儀

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