影像測量儀一般具有較大的測量范圍，通常配備有(0.7╳ ～ 4.5╳)的變焦物鏡，照明光源除了常的底光和頂光外，還有環形照明光，適合于底光和頂光都不能有效照明時應用。

其次影像測量儀的誤差來源

在影像測量儀上的測量均是單軸或二維平面坐標的測量，測量時先對焦，后對準，再讀數后計算處理。讀數來自于標尺即光柵系統，對焦對準依靠顯微鏡光學系統，還有一個直接影響測量效果和精度的照明光源，因為，基于影像方法測量的儀器，如果被測件不能被有效正確的照明，則測量的結果顯然要偏離其真實尺寸。除前述因素外，環境條件也是制約測量精度不可忽視的因素。基于上述分析，可以歸納出以下幾個方面的誤差來源:

    1)光柵計數尺的誤差;

    2)工作臺移動時存在的直線度、角擺帶來的誤差;

    3)工作臺兩測量軸垂直度帶了的誤差;

    4)微鏡光軸與工作臺面不垂直帶了的誤差;

    5)測量室溫度偏離20℃參考溫度帶來的誤差;

    6)光源照明條件的變化帶來的對焦和對準誤差。

在這幾種因素中，前四項誤差，是硬件誤差，在儀器制造過程中已經形成并固定下來，一般無法改變;溫度影響帶來的誤差，通過控制測量室的溫度和等溫過程來減小其影響。

后一項則常被忽視，而在實際測量中，當光源照明條件改變時，直接影響被測工件的照明效果和影像質量，主要是因為影像測量儀的圖像是通過CCD接收，盡管CCD具有自動調節增益的功能，但當亮度過大時即失去調節功能，導致被測工件影像在縮小，當亮度過低時，工件影像反而變大。這種影響，對于測量具有重復圖形結構之間的間距時，只要整個測量過程中照明條件保持不變，其影響可以忽略，因為每個重復圖形結構都同時在變大或變小，間距的測量計算直接消除了影像變形的影響，如測量玻璃尺、網格板刻線間距;除了這種特殊情形外，如測量圓的直徑、工件的長度和寬度，都將帶來明顯的誤差。

為了滿足廣大高精度客戶的測量需求，海科思推出了GM-7060系列超高精度影像測量儀，此款設備采用晶元光罩技術，無需光柵尺和編碼器，軟件工作平臺，全部通過軟件補償精度，幾乎不受機械誤差及阿貝誤差的影響。這項發明已經獲得世界多國專利，廣泛應用于PCB板、線路板、沖壓件精密計量；量值傳遞等高精度測量領域。